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DHHF-1 热丝等 离子体薄膜沉积实验装置

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DHHF-1 热丝等 离子体薄膜沉积实验装置

详细介绍

主要技术参数:

◆ 真空腔室尺寸:Φ350×H500mm;

◆ 真空腔室结构:立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷;

◆ 真空系统:扩散泵+机械泵+维持泵;

◆ 极限真空:5×10-4Pa;

◆ 真空测量方式:数显复合真空计、薄膜压力计;

◆ 基片台尺寸:Φ100mm;

◆ 基片台升降:80~100mm;

◆ 基片台转速:0~10转/分(可调);

◆ 热丝温度:2000℃~2500℃;

◆ 衬底温度:600℃~1000℃;

◆ 制膜种类:金刚石厚膜、类金刚石膜、氮化硅和碳化硅膜等;

◆ 工作电源:AC380 V,50Hz;整机功率5KW。电源型式:热丝电源;

◆ 真空控制方式:手动按钮控制;

◆ 工艺气体控制方式:4路工艺 气体流量控制及显示系统;

◆ 报警及保护系统:对泵、电极等缺水、过流过压、断路等 异常情况进行报警并执行相应保护措施。


本文网址:http://www./product/686.html

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